Установка вакуумная специальная модели PVM-2000
Установка вакуумная специальная модели PVM-2000
Установка предназначена для нанесения тонкопленочных декоративных покрытий электропроводными материалами вакуумно-плазменным способом на изделия из металла и пластмасс.
Установка может эксплуатироваться в закрытых сухих помещениях промышленных объектов категории 4.2 по ГОСТ 15150-69 при климатических условиях:
- температура окружающей среды от 17 0С до 27 0С;
- относительной влажности от 40 до 75%
- атмосферном давлении от 9,6х104 Па (720 до 780мм рт.ст.)
В состав установки входит:
- откачной пост (с высоковакуумными средствами откачки, вакуумной системы и пневмогидроаппаратурой (CMS );
- форвакуумный агрегат в составе:
- АВЗ-20\НД-500;
- магнетронный испаритель – 2 шт.;
- ионизатор;
- электрооборудование:
- стойка управления установкой;
- источник питания магнетрона 20 кВт—2шт.
- источник питания линейного дуговым испарителем.
- автоматическое устройство для режима очистка \ осаждение.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
1 | Предельное давление в чистой, пустой и обезгаженной камере, при охлаждении ее холодной водой, Па (мм. Рт.ст.) | 3,0х10-3 (2х10-5) |
2 | Время достижения давления 1,33х10-3 Па, мин | 50 |
3 |
Размеры рабочей камеры, мм диаметр высота |
1100 2000 |
4 | Количество дуговых испарителей, шт. | 1 |
5 | Количество магнетронный испарителей | 2 |
6 | Скорость осаждения покрытия, мкм/час | 15-30 |
7 | Ток дуги, А | 60-270 |
8 | Мощность источника питания магнетрона кВт | 20 |
9 | Максимальный ток подложки при нормальном режиме, А | 10 |
10 | Мощность установки, кВт не более | 40 |
11 | Площадь, занимаемая установкой, м2 | 10 |
12 | Масса установки, кг | 4200 |
Республика Беларусь 231000
г. Сморгонь ул. Победы 12 тел\факс +375 1592-3-37-78
E-mail: forvak@mail.ru