231000, Республика Беларусь, г. Сморгонь, ул. Победы 12, Тел/факс: +375 1592-25555; +375 29 663 26 25

Установка вакуумная модели ВУ-1А оптическая


Вакуумная установка предназначена для нанесения покрытий на оптические детали методом резистивного и электронно-лучевого испарения диэлектриков, полупроводниковых материалов и металлов с одновременным контролем толщины покрытия.

Установка обеспечивает возможность нанесения многослойных ахроматических покрытий на деталях серийной продукции, а также металлических, однослойных просветляющих, интерференционных зеркальных, фильтрующих и других для различных областей спектра. 

Оптическая вакуумная установка ВУ-1А

В состав установки входит:

  • откачной пост (с высоковакуумными откачными средствами, вакуумной системой и пневмо-гидроаппаратурой);
  • форвакуумный агрегат;
  • электрооборудование (с двумя стойками управления- управление вакуумной системой и управление технологическими источниками).

Технические характеристики

Давление в камере при одновременном нагреве ее до 3200С и при охлаждении всех ловушек жидким азотом, Па 4х10-4
Время достижения давления 4.10-4Па ,мин ,не более 30
Регулируемая температура нагрева в камере, С0 от 100 до 320
Количество резистивных испарителей, шт. 2
Количество электронно-лучевых испарителей, шт. 1
Вместимость деталей размерами, шт.
  • диаметром 40 мм
  • диаметром 70 мм
 70
6
Напряжение источника питания тлеющего разряда ионной очистки на холостом ходу, В от 2175± 20% до 4350± 20%
Максимальный ток тлеющего разряда ионной очистки А, не более 0,4
Максимально допустимый ток резистивного испарителя при напряжении на трансформаторах А, не более:
  • 12В
  • 24В
 300
150
Максимальный ток электронно-лучевого испарителя, мА 480±20
Мощность , потребляемая установкой, кВт, не более 20
Масса установки, кг, не более 1 900
Площадь, занимаемая установкой, м2, не более 6