231000, Республика Беларусь, г. Сморгонь, ул. Победы 12, Тел/факс: +375 1592-25555; +375 29 663 26 25

Установка вакуумная специальная модели FORVAK-1




Установка предназначена для нанесения тонкопленочных износостойких покрытий вакуумно-плазменным способом из электропроводного тугоплавкого материала – титана (TI), а также его соединений с газами (TIN , TIC) (нитриды, карбонитриды).

Предусмотрена возможность нанесения покрытий из других   электропроводящих материалов, в том числе молибдена, циркония иодитного (Zr) и их соединений (нитриды, карбонитриды).



В состав установки входит:

            откачной пост (с высоковакуумными средствами откачки, вакуумной системы и пневмогидроаппаратурой (Festo);

        форвакуумный агрегат;

         электрооборудование:

-  контроллер управления откачным постом фирмы «Siemens»;

- микропроцессорное устройство напуска реактивных газов с автоматическим поддержанием рабочего давления (2-канала с обратной связью, ШИМ - управление);

- микропроцессорный регулятор температуры в вакуумной камере;

- два инверторных  источника питания дуговыми испарителями.

- автоматическое устройством для работы  в режиме очистки и осаждения.

Установка изготавливается как в моноблочном исполнении, так и со стойкой

 

Вакуумная установка PVM-1F. Для напыления зубных протезов. Форвак

 

По требованию заказчика может  комплектоваться:

- ионным источником очистки и ассистирования (РИФ) с блоком питания;

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

1

 Предельное давление в чистой, пустой и обезгаженной камере, при охлаждении ее холодной водой, Па (мм. Рт.ст.)

1,33х10-3 (1х10-5)

2

 Время достижения давления 1,33х10-3   Па, мин

20

3

 Размеры рабочей камеры, мм       диаметр

                                                   высота

700

700

4

Количество дуговых испарителей, шт.

2

5

Скорость осаждения покрытия, мкм/час

15-30

6

Микротвердость покрытия, кг/мм2

до 2400

7

Ток дуги, А

65-130

8

Напряжение высоковольтного источника в рабочем режиме, В

1200/600

9

Диапазон плавного регулирования опорного напряжения низковольтного источника, В

0-250

10

Максимальный ток подложки при нормальном режиме, А

10

11

Мощность установки, кВт не более

15

12

Площадь, занимаемая установкой, м2

7

13

Масса установки, кг

1400