231000, Республика Беларусь, г. Сморгонь, ул. Победы 12, Тел/факс: +375 1592-25555; +375 29 663 26 25

Установка вакуумная модели ВУ- 2М оптическая


Оптическая вакуумная установка ВУ-2М предназначена для нанесения в вакууме покрытий на оптические детали методом электронно-лучевого и резистивного испарения диэлектриков, полупроводниковых материалов и металлов с одновременным фотометрическим контролем толщины покрытия.

Вакуумная установка обеспечивает возможность нанесения металлических, однослойных, просветляющих, ахроматических, интерференционных, зеркальных, фильтрующих, токопроводящих и других оптических покрытий для области спектра, ограниченной длинами волн в диапазоне 250-1100м/м.

Оптическая вакуумная установка ВУ 2М

 

Откачка камеры до начала проведения процесса напыления может производиться в ручном и автоматическом режимах.

В автоматический режим, кроме получения рабочего давления, включена ионная очистка деталей и нагрев деталей до заданной температуры с вращением арматуры.

Вакуумная установка должна эксплуатироваться на вакуумных участках и в лабораториях при температуре окружающего воздуха от 17 до 280С, относительной влажности от 40 до 75% и атмосферном давлении 8,4 х104 – 10,6х104 Па (630-800 мм рт. ст).

Камера оптической вакуумной установки ВУ 2М

Вакуумная установка состоит:

  • откачной пост (с высоковакуумными средствами откачки);
  • агрегат форвакуумный АВР-60;
  • комплекс фотометрического контроля толщины СФКТ-751В;
  • стойка управления.

Технические характеристики:

1. Рабочее давление в камере установки, Па 6х10-4
2. Время достижения остаточного давления 6х10-4 Па, мин 30
3. Количество/максимальная мощность испарителей, шт/кВА
  • электронно-лучевых
  • резистивных
2/6
1/4
4. Количество ионно-лучевых источников/максимальный ионный ток, шт/А 1/1
5. Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуру, кг 10
6. Максимальная температура нагрева подложек, °С 320
7. Скорость вращения арматуры, об/мин 6-60
8. Максимальное число слоев покрытия, получаемое в одном технологическом цикле под управлением АСУТП, шт 32
9. Мощность, потребляемая установкой, кВА 40
10. Общая площадь, занимаемая установкой, м2 8
11. Масса установки, кг 2150